완속침전에 비해 비교적 적은 부지에 설치가 가능하며, 급속으로 슬러지를 응집, 침전시켜서 여과하는 방식으로 보통 후단에 중력식 모래여과기를 같이 사용한다.

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여재 내용물에 따라 분류되며, 모래여과기, 활성탄여과기, 다층여과기 등이 있다.재래식 방식으로 비교적 경제적이나 여재를 주기적으로 교체해주면서 관리해야한다.여과기 후단에 여재의 누출을 대비하여 카트리지나 백타입의 마이크로필터를 설치할 필요가 있다.

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0.2마이크론 이상의 고형물질을 제거하는 필터로 RO설비의 전처리로는 가장 우수한 성능을 가졌으며,자동으로 여과와 역세를 반복적으로 수행하므로 사용하기 편리하여 현재 많이 채택되고 있다.재래식 여과기에 비해 조금 더 비싸다는 단점이 있다.

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수지탑 내부에 충진된 수지의 종류에 따라 양이온 수지탑과 음이온수지탑 그리고 혼상탑으로 구분되고 다량의 약품으로 수지를 재생시켜 용존이온들을 제거하고 이온교환수지가 수명을 다할때까지 용존이온 제거와 재생을 무한 반복된다.유독성과 부식성이 강한 약품을 사용해야하는 단점이 있다.

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현재 가장 보편적으로 많이 사용되는 순수설비로 역삼투막을 고압으로 통과시켜 순수한 물만얻을수 있는 장치이다. 불순물 배출을 위한 상당량의 농축수가 버려진다는 단점이 있다.

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겨울철에 낮아진 수온으로 인해 RO의 생산수량이 현저히 감소하기때문에 이를 보완하기 위해 원수 온도를 상승시켜 일정하게 공급하기 위한 장치이다.

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저장탱크에서 증식할 수 있는 미생물을 상위공정으로 공급하기 전에 살균하기 위한 장치이다.일반 살균용과 TOC 제거용 두가지 자외선살균기(UV)가 있다.

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전기탈이온장치에서 제거하기 어려운 가스성분들을 미리 제거하기 위한 장치이다.

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이온교환수지와 전기분해장치를 결합된 탈이온장치로 초순수설비의 필수장비이다.

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전기탈이온장치(EDI)를 거친후에도 잔류하는 용존이온을 완전히 제거하기 위해 사용된다.

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초순수를 생산한후 Use Point로 보내기 전에 미세입자들을 최종적으로 관리해주는 장치로Particle counter로 모니터링 된다.

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세정장치(CIP System)UF 또는 RO Membrane의 세정장치로 유무기 Fouling에 따른 성능저하시 성능회복을 위해 실시하는 세정장치로 원수수질에 따라 세정주기는 약간의 차이가 난다.

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저장목적에 따라 원수, Buffer, 순수, 초순수 저장탱크 등으로 나뉜다.재질에 따라 FRP, PE, Stainless steel, SMC 등이 있다.

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요구에 맞게 구성된 설비를 자동으로 제어해주는 설비로 사용자의 시스템과 연계하여 모니터링도 가능하다.

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순수 또는 초순수의 수질상태를 측정하여 제어반에서 모니터링 하기 위한 장치이다.

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